គោលដៅត្រូវបានខ្ចប់ក្នុងថង់ប្លាស្ទិកបូមធូលីពីរ។យើងតស៊ូមតិថាអ្នកប្រើប្រាស់រក្សាទុកគោលដៅមិនថាលោហៈ ឬសេរ៉ាមិច នៅក្នុងការវេចខ្ចប់ដោយខ្វះចន្លោះ ជាពិសេសគោលដៅផ្សារភ្ជាប់ត្រូវរក្សាទុកក្នុងកន្លែងទំនេរ ដើម្បីជៀសវាងការកត់សុីនៃស្រទាប់ភ្ជាប់ដែលប៉ះពាល់ដល់គុណភាពនៃការផ្សារភ្ជាប់។ ចំពោះវេចខ្ចប់គោលដៅដែក យើងទទូចថា តម្រូវការអប្បបរមាគឺត្រូវខ្ចប់វាក្នុងថង់ប្លាស្ទិកស្អាត។ខាងក្រោមនេះជាអ្នកនិពន្ធ Beijing Richmat ដើម្បីចែករំលែកជាមួយអ្នកអំពីអ្វីដែលជាជំនាញនៃការរក្សាទុក និងថែទាំគោលដៅ
ជំនាញថែទាំអំពីគោលដៅលោហធាតុមានដូចខាងក្រោម៖
ដើម្បីជៀសវាងសៀគ្វីខ្លី និងធ្នូដោយសារតែបែហោងធ្មែញមិនស្អាតនៅក្នុងដំណើរការ sputtering វាចាំបាច់ក្នុងការដកមជ្ឈមណ្ឌល sputtering track និងភាគីទាំងពីរនៃការប្រមូលផ្តុំ sputtering ដែលជួយអ្នកប្រើប្រាស់បន្តទៅដង់ស៊ីតេថាមពលអតិបរមានៃការ sputtering ។
ជំហានទី 1: លាងសម្អាតជាមួយនឹងក្រណាត់ដែលគ្មានរោមចៀមដែលត្រាំក្នុងអាសេតូន។
ជំហានទី 2: លាងសម្អាតជាមួយអាល់កុលស្រដៀងនឹងជំហានទី 1;
ជំហានទី 3: លាងជាមួយទឹក deionized ។បន្ទាប់ពីការលាងសម្អាតជាមួយនឹងទឹក deionized គោលដៅត្រូវបានដាក់នៅក្នុង oven មួយដើម្បីស្ងួតនៅ 100 អង្សាសេរយៈពេល 30 នាទី។គោលដៅអុកស៊ីត និងសេរ៉ាមិចត្រូវបានសម្អាតដោយ "ក្រណាត់គ្មានផ្លិត" ។
ជំហានទី 4: បន្ទាប់ពីលុបកន្លែងដែលមានធូលីចេញ argon ដែលមានសម្ពាធខ្ពស់ និងឧស្ម័នសំណើមទាប ត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្ហូរគោលដៅ ដើម្បីលុបភាគល្អិតមិនបរិសុទ្ធទាំងអស់ដែលអាចបង្កើតជាធ្នូនៅក្នុងប្រព័ន្ធ sputtering ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ មិថុនា-០៧-២០២២