ម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្នុងការជ្រើសរើសសម្ភារៈគោលដៅសម្រាប់បាញ់ទឹក គឺជាបញ្ហាមួយសម្រាប់មនុស្សនាពេលបច្ចុប្បន្ន ដោយសារការស្រោបជ័រ ជាពិសេសការអភិវឌ្ឍន៍ជំនាញនៃការស្រោបដោយមេដែក អាចត្រូវបាននិយាយថាសម្រាប់ព័ត៌មានណាមួយដើម្បីអាចកំណត់គោលដៅនៃការរៀបចំសម្ភារៈនៃខ្សែភាពយន្តស្តើង។ ដោយការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុង ពីព្រោះដោយសារការបំផ្ទុះសម្ភារៈគោលដៅនៅក្នុងដំណើរការនៃថ្នាំកូតទៅនឹងប្រភេទនៃស្រទាប់ខាងក្រោម មានឥទ្ធិពលយ៉ាងសំខាន់ទៅលើគុណភាពនៃខ្សែភាពយន្ត sputtering ដូច្នេះតម្រូវការសម្ភារៈគោលដៅគឺកាន់តែតឹងរ៉ឹង។នៅទីនេះ យើងនឹងសិក្សាអំពីតួនាទីនៃការបញ្ចេញទឹកមុខក្នុងស្រទាប់បូមធូលី រួមជាមួយនឹងកម្មវិធីនិពន្ធនៃ Beijing Relaxation
មួយ គោលការណ៍ជ្រើសរើស និងការចាត់ថ្នាក់នៃសម្ភារៈគោលដៅ
នៅក្នុងការជ្រើសរើសសម្ភារៈគោលដៅ បន្ថែមពីលើការប្រើប្រាស់ខ្សែភាពយន្តខ្លួនឯងគួរតែត្រូវបានជ្រើសរើស បញ្ហាខាងក្រោមក៏គួរត្រូវបានពិចារណាផងដែរ៖
បញ្ហា 1. យោងតាមតម្រូវការប្រើប្រាស់ និងការអនុវត្តនៃភ្នាស វាចាំបាច់សម្រាប់សម្ភារៈគោលដៅដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការបច្ចេកទេសនៃភាពបរិសុទ្ធ មាតិកាទស្សនាវដ្តី ឯកសណ្ឋានសមាសធាតុ ភាពត្រឹមត្រូវនៃម៉ាស៊ីនជាដើម។
បញ្ហា 2. សម្ភារៈគោលដៅគួរតែមានកម្លាំងមេកានិចល្អ និងស្ថេរភាពគីមី បន្ទាប់ពីការបង្កើតខ្សែភាពយន្ត។
បញ្ហា 3. វាចាំបាច់សម្រាប់សម្ភារៈខ្សែភាពយន្តដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុបានយ៉ាងងាយស្រួលជាមួយនឹងឧស្ម័នប្រតិកម្មដែលជាខ្សែភាពយន្តដែលមានប្រតិកម្ម។
បញ្ហា 4. ចាំបាច់ត្រូវកំណត់គោលដៅ និងម៉ាទ្រីសឱ្យរឹងមាំ បើមិនដូច្នេះទេ សម្ភារៈខ្សែភាពយន្តដែលមានភាពស្អិតជាប់ល្អជាមួយម៉ាទ្រីស គួរតែត្រូវបានគេយកទៅប្រើ ជាដំបូង ប្រោះស្រទាប់នៃខ្សែភាពយន្តខាងក្រោមហើយបន្ទាប់មករៀបចំស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តដែលត្រូវការ។
សំណួរ 5. នៅលើមូលដ្ឋាននៃការបំពេញតម្រូវការនៃការអនុវត្តនៃខ្សែភាពយន្តនេះភាពខុសគ្នាតូចជាងរវាងមេគុណពង្រីកកម្ដៅនៃគោលដៅនិងម៉ាទ្រីស, ល្អប្រសើរជាងមុន, ដូច្នេះដើម្បីកាត់បន្ថយឥទ្ធិពលនៃភាពតានតឹងកម្ដៅនៃខ្សែភាពយន្ត sputtering;
ការរៀបចំគោលដៅដែលប្រើជាទូទៅជាច្រើន។
(1) cr គោលដៅ
Chromium ជាសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តដែលស្រក់ទឹកភ្នែកមិនត្រឹមតែងាយស្រួលក្នុងការផ្សំជាមួយនឹងសម្ភារៈមូលដ្ឋានមាន adhesion ខ្ពស់ ហើយខ្សែភាពយន្តក្រូមីញ៉ូម និងអុកស៊ីដ CrQ3 លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច ធន់នឹងអាស៊ីត និងស្ថេរភាពកម្ដៅគឺប្រសើរជាង។
ក្រុមហ៊ុន Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd. បានចូលរួមជាចម្បងនៅក្នុង៖ គោលដៅទីតានីញ៉ូម គោលដៅ zirconium, គោលដៅអាលុយមីញ៉ូម, គោលដៅនីកែល, គោលដៅក្រូមីញ៉ូម, គោលដៅតង់ស្តែន, គោលដៅ molybdenum, គោលដៅទង់ដែង, គោលដៅស៊ីលីកូន, គោលដៅ niobium, គោលដៅ tantalum, យ៉ាន់ស្ព័រទីតាញ៉ូម-ស៊ីលីកុន។ គោលដៅ, គោលដៅយ៉ាន់ស្ព័រទីតានីញ៉ូម-នីអូប៊ីយ៉ូម, គោលដៅយ៉ាន់ស្ព័រទីតានីញ៉ូម-តង់ស្តែន, គោលដៅយ៉ាន់ស្ព័រទីតានីញ៉ូម-ហ្សីកញ៉ូម, គោលដៅយ៉ាន់ស្ព័រនីកែល-ក្រូមីញ៉ូម, គោលដៅយ៉ាន់ស្ព័រស៊ីលីកា-អាលុយមីញ៉ូម, គោលដៅយ៉ាន់ស្ព័រនីកែល-វ៉ាណាដ្យូម, គោលដៅយ៉ាន់ស្ព័រ-អាលុយមីញ៉ូម-ស៊ីលីកុន ternary, Ti al si សម្ភារៈគោលដៅយ៉ាន់ស្ព័រ ternary ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការតុបតែង/ផ្ទៃរឹង និងថ្នាំកូតមុខងារ កញ្ចក់ស្ថាបត្យកម្ម អេក្រង់រាបស្មើ/រូបថតអុបទិក ការផ្ទុកអុបទិក អេឡិចត្រូនិច ការបោះពុម្ព និងវិជ្ជាជីវៈផ្សេងទៀត។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ០២-០២-២០២២