នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ នៅក្នុងក្រុមហ៊ុនផលិតគោលដៅចំរុះធំៗរបស់ពិភពលោក មានវិធីសាស្រ្តពីរផ្សេងគ្នាសម្រាប់ការផលិតគោលដៅនៃការបំភាយអាលុយមីញ៉ូម។មួយគឺត្រូវជ្រើសរើសវិធីសាស្រ្តក្នុងការផលិត ingot ហើយបន្ទាប់មកធ្វើដំណើរការចាក់។មួយទៀតគឺធ្វើឡើងដោយការបាញ់ថ្នាំ។ សូមឲ្យកម្មវិធីនិពន្ធទីក្រុងប៉េកាំងបង្កើតឡើងសម្រាប់អ្នកដើម្បីចែករំលែក អំពីដំណើរការផលិតលោហៈធាតុអាលុយមីញ៉ូមទីតានីញ៉ូម គោលដៅអ្វីដែលជាសុភវិនិច្ឆ័យ។
តាមវិធីដែលគេស្គាល់ថា ការចាក់/ខាស មានការព្រួយបារម្ភ នៅពេលផលិត គោលដៅ ស្ពា អាលុយមីញ៉ូម គោលដៅ ស្ពែម អាលុយមីញ៉ូម ជារឿយៗ ទទួលរងនូវការ បំបែក ដោយសារតែការបន្ថែមធាតុ យ៉ាន់ស្ព័រ ដែលបណ្តាលឱ្យមាន គុណភាពអន់នៃ ខ្សែភាពយន្តដែលបែកខ្ញែក និងភាគល្អិតតូចៗ។ ងាយនឹងកើតឡើងនៅលើផ្ទៃនៃគោលដៅ sputtering ដែលនឹងប៉ះពាល់ដល់ឯកសណ្ឋាននៃលក្ខណៈសម្បត្តិនៃខ្សែភាពយន្តនេះ; ទោះជាយ៉ាងណា, ប្រសិនបើវិធីសាស្រ្តបង្កើតបាញ់ដែលគេស្គាល់ត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតគោលដៅ sputtering alloy អាលុយមីញ៉ូម, ទោះបីជាពិការភាពដែលពាក់ព័ន្ធដែលបានរៀបរាប់ខាងលើអាចត្រូវបាន ត្រូវបានរារាំង ការចំណាយលើការផលិតនៃគោលដៅ sputtering នឹងត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំង ជាពិសេសនៅពេលដែលការផលិតគោលដៅ sputtering មួយចំនួនដែលមិនងាយស្រួលក្នុងការបោះ និងត្រូវតែត្រូវបានចុចក្តៅ ការចំណាយនឹងត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងដោយប្រើការចុចក្តៅ។
ដើម្បីធ្វើឱ្យដំណើរការផលិតវត្ថុលោហធាតុអាលុយមីញ៉ូមទីតានីញ៉ូមមានភាពងាយស្រួល និងចំណាយតិច វិធីសាស្រ្តនៃការផលិតវត្ថុធាតុអាលុយមីញ៉ូមអាលុយមីញ៉ូមជាមួយម្សៅបាញ់ខ្យល់ត្រូវបានណែនាំនៅទីនេះ។គោលការណ៍របស់វាសំដៅទៅលើម្សៅសម្ភារៈនៃគោលដៅ sputtering ត្រូវបានផលិតដោយវិធីបាញ់ខ្យល់តាមសមាមាត្រនៃសមាសធាតុ alloy ហើយបន្ទាប់មកម្សៅ alloy ត្រូវបានពិនិត្យដើម្បីទទួលបានទំហំភាគល្អិតម្សៅសមស្រប។ជាចុងក្រោយ ម្សៅត្រូវបានបូមដោយម៉ាស៊ីនក្តៅ ដើម្បីបង្កើតជាគ្រាប់អាលុយមីញ៉ូម។
វិធីសាស្រ្តនៃការផលិតគ្រាប់បាញ់អាលុយមីញ៉ូមនេះជាមួយនឹងម្សៅបាញ់ខ្យល់អាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការផលិតគោលដៅផ្លុំអាលុយមីញ៉ូមផ្សេងៗ (អាលុយមីញ៉ូ ក្រូមីញ៉ូម អាលុយមីញ៉ូម ស៊ីលីកុន ស្ពាន់ អាលុយមីញ៉ូ ទីតានីញ៉ូម ជាដើម)។ជំហានអនុវត្តដែលពេញចិត្តគឺ៖ ការផ្គត់ផ្គង់សម្ភារៈលោហៈសម្រាប់ផលិតវត្ថុធាតុលោហធាតុអាលុយមីញ៉ូម ហើយរលាយវាទៅជាលោហៈរលាយ បន្ទាប់មក លោហៈធាតុរលាយត្រូវបានបង្កើតជាម្សៅដែកដោយវិធីបាញ់ខ្យល់។ទីបំផុត ម្សៅដែកត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយការចុចក្តៅដោយខ្វះចន្លោះ ដើម្បីបង្កើតជាគោលដៅនៃលោហៈធាតុអាលុយមីញ៉ូម ហើយឧស្ម័នអសកម្មត្រូវបានណែនាំជាឧស្ម័នថែទាំ។វិធីសាស្រ្តនេះអាចការពារការបំបែកទិន្នន័យ និងពិការភាពនៃភាគល្អិតតូចៗ និងផលិតគោលដៅដែលមានគុណភាពខ្ពស់បានលឿន និងថោក។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ០១-០២-២០២២