វាអាចត្រូវបានបែងចែកទៅជា DC magnetron sputtering និង RF magnetron sputtering ។
វិធីសាស្រ្ត DC sputtering តម្រូវឱ្យគោលដៅអាចផ្ទេរបន្ទុកវិជ្ជមានដែលទទួលបានពីដំណើរការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងទៅ cathode ដោយមានទំនាក់ទំនងជិតស្និទ្ធជាមួយវា ហើយបន្ទាប់មកវិធីសាស្ត្រនេះអាចបញ្ចេញតែទិន្នន័យ conductor ប៉ុណ្ណោះដែលមិនស័ក្តិសមសម្រាប់ទិន្នន័យអ៊ីសូឡង់ ពីព្រោះ បន្ទុកអ៊ីយ៉ុងលើផ្ទៃមិនអាចត្រូវបានបន្សាបនៅពេលទម្លាក់គ្រាប់បែកលើគោលដៅអ៊ីសូឡង់ ដែលនឹងនាំឱ្យមានការកើនឡើងនៃសក្តានុពលលើផ្ទៃគោលដៅ ហើយវ៉ុលដែលបានអនុវត្តស្ទើរតែទាំងអស់ត្រូវបានអនុវត្តទៅគោលដៅ ដូច្នេះឱកាសនៃការបង្កើនល្បឿនអ៊ីយ៉ុង និងអ៊ីយ៉ូដរវាង បង្គោលពីរនឹងត្រូវបានកាត់បន្ថយ ឬសូម្បីតែមិនអាចត្រូវបាន ionized វានាំទៅរកការបរាជ័យនៃការហូរចេញជាបន្តបន្ទាប់សូម្បីតែការរំខានការហូរចេញនិងការរំខាន sputtering ។ដូច្នេះ ការប្រើប្រេកង់វិទ្យុ (RF) ត្រូវតែប្រើសម្រាប់គោលដៅអ៊ីសូឡង់ ឬគោលដៅមិនមែនលោហធាតុ ដែលមានចរន្តអគ្គិសនីខ្សោយ។
ដំណើរការប្រឡាក់ជាប់ពាក់ព័ន្ធនឹងដំណើរការស្មុគ្រស្មាញ និងដំណើរការផ្ទេរថាមពលផ្សេងៗ៖ ដំបូង ភាគល្អិតនៃឧបទ្ទវហេតុបុកគ្នាយ៉ាងយឺតជាមួយអាតូមគោលដៅ ហើយផ្នែកនៃថាមពល kinetic នៃភាគល្អិតឧប្បត្តិហេតុនឹងត្រូវបានបញ្ជូនទៅអាតូមគោលដៅ។ថាមពល kinetic នៃអាតូមគោលដៅមួយចំនួនលើសពីរបាំងសក្តានុពលដែលបង្កើតឡើងដោយអាតូមផ្សេងទៀតនៅជុំវិញពួកគេ (5-10ev សម្រាប់លោហធាតុ) ហើយបន្ទាប់មកពួកគេត្រូវបានគោះចេញពីបន្ទះឈើបន្ទះឈើដើម្បីផលិតអាតូមក្រៅបណ្តាញ, និងការប៉ះទង្គិចម្តងហើយម្តងទៀតជាមួយនឹងអាតូមដែលនៅជាប់គ្នា។ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការប៉ះទង្គិចគ្នា។នៅពេលដែលការប៉ះទង្គិចគ្នានេះឈានដល់ផ្ទៃគោលដៅ ប្រសិនបើថាមពល kinetic នៃអាតូមនៅជិតផ្ទៃនៃគោលដៅគឺធំជាងថាមពលភ្ជាប់ផ្ទៃ (1-6ev សម្រាប់លោហៈ) អាតូមទាំងនេះនឹងបំបែកចេញពីផ្ទៃគោលដៅ។ ហើយចូលទៅក្នុងកន្លែងទំនេរ។
Sputtering coating គឺជាជំនាញនៃការប្រើប្រាស់ភាគល្អិតដែលត្រូវបានចោទប្រកាន់ដើម្បីទម្លាក់គ្រាប់បែកលើផ្ទៃនៃគោលដៅដោយកន្លែងទំនេរ ដើម្បីធ្វើឱ្យភាគល្អិតដែលទម្លាក់គ្រាប់បែកនោះកកកុញនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ជាធម្មតា ការបញ្ចេញឧស្ម័នអសកម្មដែលមានសម្ពាធទាប ត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតអ៊ីយ៉ុងឧបទ្ទវហេតុ។គោលដៅ cathode ត្រូវបានផលិតចេញពីសម្ភារៈថ្នាំកូត ស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានប្រើជា anode 0.1-10pa argon ឬឧស្ម័នអសកម្មផ្សេងទៀតត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងបន្ទប់ខ្វះចន្លោះ ហើយការបញ្ចេញពន្លឺកើតឡើងក្រោមសកម្មភាព cathode (គោលដៅ) 1-3kv DC អវិជ្ជមានខ្ពស់ វ៉ុលឬវ៉ុល RF 13.56MHz ។អ៊ីយ៉ុង argon ionized ទម្លាក់គ្រាប់បែកលើផ្ទៃគោលដៅ បណ្តាលឱ្យអាតូមគោលដៅ ពុះ និងកកកុញនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម បង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើង។នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ មានវិធីសាស្រ្ត sputtering ជាច្រើន ដែលភាគច្រើនរួមមានការ sputtering ទីពីរ ទីបី ឬ quaternary sputtering , magnetron sputtering , target sputtering , RF sputtering , bias sputtering , asymmetric communication asymmetric RF sputtering , ion beam sputtering និង reactive sputtering ។
ដោយសារតែអាតូមដែលខ្ចាត់ខ្ចាយត្រូវបានខ្ចាត់ខ្ចាយចេញបន្ទាប់ពីផ្លាស់ប្តូរថាមពល kinetic ជាមួយអ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមានជាមួយនឹងថាមពលរាប់សិបវ៉ុល អេឡិចត្រុងដែលបែកខ្ញែកមានថាមពលខ្ពស់ ដែលអំណោយផលដល់ការកែលម្អសមត្ថភាពបែកខ្ញែកនៃអាតូមកំឡុងពេលជង់ ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពល្អិតល្អន់នៃការរៀបចំជង់ និងធ្វើឱ្យ ខ្សែភាពយន្តដែលបានរៀបចំមានភាពស្អិតជាប់ជាមួយស្រទាប់ខាងក្រោម។
កំឡុងពេលបញ្ចេញទឹក បន្ទាប់ពីឧស្ម័នត្រូវបាន ionized អ៊ីយ៉ុងឧស្ម័នហោះហើរទៅកាន់គោលដៅដែលភ្ជាប់ទៅនឹង cathode នៅក្រោមសកម្មភាពនៃវាលអគ្គីសនី ហើយអេឡិចត្រុងហោះហើរទៅកាន់បែហោងធ្មែញជញ្ជាំងដី និងស្រទាប់ខាងក្រោម។នៅក្នុងវិធីនេះ, នៅក្រោមតង់ស្យុងទាបនិងសម្ពាធទាប, ចំនួននៃអ៊ីយ៉ុងគឺតូចនិងអំណាច sputtering នៃគោលដៅគឺទាប;នៅតង់ស្យុងខ្ពស់ និងសម្ពាធខ្ពស់ ទោះបីជាអ៊ីយ៉ុងច្រើនអាចកើតឡើងក៏ដោយ អេឡិចត្រុងដែលហោះទៅស្រទាប់ខាងក្រោមមានថាមពលខ្ពស់ ដែលងាយស្រួលក្នុងការកំដៅស្រទាប់ខាងក្រោម និងសូម្បីតែការបែកខ្ញែកបន្ទាប់បន្សំ ដែលប៉ះពាល់ដល់គុណភាពខ្សែភាពយន្ត។លើសពីនេះទៀត ប្រូបាប៊ីលីតេនៃការប៉ះទង្គិចគ្នារវាងអាតូមគោលដៅ និងម៉ូលេគុលឧស្ម័ននៅក្នុងដំណើរការនៃការហោះហើរទៅកាន់ស្រទាប់ខាងក្រោមក៏កើនឡើងយ៉ាងខ្លាំងផងដែរ។ដូច្នេះវានឹងត្រូវបានខ្ចាត់ខ្ចាយទៅបែហោងធ្មែញទាំងមូលដែលនឹងមិនត្រឹមតែខ្ជះខ្ជាយគោលដៅប៉ុណ្ណោះទេថែមទាំងបំពុលស្រទាប់នីមួយៗក្នុងអំឡុងពេលរៀបចំខ្សែភាពយន្តពហុស្រទាប់។
ដើម្បីដោះស្រាយការខ្វះខាតខាងលើ បច្ចេកវិទ្យា DC magnetron sputtering ត្រូវបានបង្កើតឡើងក្នុងទសវត្សរ៍ឆ្នាំ 1970 ។វាជម្នះយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពលើការខ្វះខាតនៃអត្រា cathode sputtering ទាប និងការកើនឡើងនៃសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមដែលបណ្តាលមកពីអេឡិចត្រុង។ដូច្នេះវាត្រូវបានអភិវឌ្ឍយ៉ាងឆាប់រហ័សនិងប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយ។
គោលការណ៍មានដូចតទៅ៖ ក្នុងការស្ពែមម៉ាញេទិក ពីព្រោះអេឡិចត្រុងដែលផ្លាស់ទីត្រូវបានទទួលរងនូវកម្លាំង Lorentz នៅក្នុងដែនម៉ាញេទិក នោះគន្លងចលនារបស់វានឹងមានលក្ខណៈច្របូកច្របល់ ឬសូម្បីតែចលនាវង់ ហើយផ្លូវចលនារបស់វានឹងកាន់តែវែង។ដូច្នេះចំនួននៃការប៉ះទង្គិចគ្នាជាមួយនឹងម៉ូលេគុលឧស្ម័នដែលកំពុងដំណើរការត្រូវបានកើនឡើង ដូច្នេះដង់ស៊ីតេប្លាស្មាត្រូវបានកើនឡើង ហើយបន្ទាប់មកអត្រានៃការបញ្ចេញមេដែកត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំង ហើយវាអាចដំណើរការក្រោមតង់ស្យុង និងសម្ពាធទាបដើម្បីកាត់បន្ថយទំនោរនៃការបំពុលខ្សែភាពយន្ត។ម្យ៉ាងវិញទៀត វាក៏ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវថាមពលនៃឧបទ្ទវហេតុអាតូមនៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម ដូច្នេះគុណភាពនៃខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានកែលម្អក្នុងកម្រិតដ៏អស្ចារ្យ។ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ នៅពេលដែលអេឡិចត្រុងដែលបាត់បង់ថាមពលតាមរយៈការប៉ះទង្គិចគ្នាជាច្រើនឈានដល់ anode ពួកវាបានក្លាយទៅជាអេឡិចត្រុងដែលមានថាមពលទាប ហើយបន្ទាប់មកស្រទាប់ខាងក្រោមនឹងមិនឡើងកំដៅឡើយ។ដូច្នេះ មេដែកស្ពែម មានគុណសម្បត្តិនៃ "ល្បឿនលឿន" និង "សីតុណ្ហភាពទាប" ។គុណវិបត្តិនៃវិធីសាស្រ្តនេះគឺថា ខ្សែភាពយន្តអ៊ីសូឡង់មិនអាចរៀបចំបានទេ ហើយវាលម៉ាញេទិកមិនស្មើគ្នាដែលប្រើនៅក្នុងអេឡិចត្រូតម៉ាញេទិកនឹងបណ្តាលឱ្យមានស្នាមឆ្កូតមិនស្មើគ្នានៃគោលដៅ ដែលបណ្តាលឱ្យមានអត្រាប្រើប្រាស់ទាបនៃគោលដៅ ដែលជាទូទៅមានត្រឹមតែ 20% - 30 ប៉ុណ្ណោះ។ %
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ឧសភា-១៦-២០២២