សមា្ភារៈគោលដៅ Sputtered មានតម្រូវការខ្ពស់ក្នុងអំឡុងពេលប្រើប្រាស់ មិនត្រឹមតែសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធ និងទំហំភាគល្អិតប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងទំហំភាគល្អិតឯកសណ្ឋានផងដែរ។តម្រូវការខ្ពស់ទាំងនេះធ្វើឱ្យយើងយកចិត្តទុកដាក់បន្ថែមទៀតនៅពេលប្រើសម្ភារៈគោលដៅ។
1. ការរៀបចំ Sputtering
វាមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់ក្នុងការថែរក្សាភាពស្អាតនៃបន្ទប់បូមធូលី ជាពិសេសប្រព័ន្ធប្រឡាក់។ប្រេងរំអិល ធូលី និងសំណល់ណាមួយពីថ្នាំកូតមុនអាចកកកុញជាតិពុលដូចជាទឹក ដែលប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់កន្លែងទំនេរ និងបង្កើនលទ្ធភាពនៃការបរាជ័យនៃការបង្កើតខ្សែភាពយន្ត។សៀគ្វីខ្លី ចំណុចទាញគោលដៅ ផ្ទៃបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តរដុប និងសារធាតុពុលគីមីច្រើនហួសហេតុ ជាធម្មតាបណ្តាលមកពីអង្គធាតុមិនស្អាត កាំភ្លើង និងគោលដៅ។
ដើម្បីរក្សាលក្ខណៈសមាសធាតុនៃថ្នាំកូត ឧស្ម័នប្រឡាក់ (argon ឬអុកស៊ីសែន) ត្រូវតែស្អាត និងស្ងួត។បន្ទាប់ពីដំឡើងស្រទាប់ខាងក្រោមនៅក្នុងបន្ទប់ sputtering chamber ត្រូវការខ្យល់ចេញចូល ដើម្បីសម្រេចបាននូវកម្រិតខ្វះចន្លោះដែលត្រូវការសម្រាប់ដំណើរការ។
2. ការសម្អាតគោលដៅ
គោលបំណងនៃការសម្អាតគោលដៅគឺដើម្បីកម្ចាត់ធូលី ឬភាពកខ្វក់ដែលអាចមានលើផ្ទៃគោលដៅ។
3. ការដំឡើងគោលដៅ
អ្វីដែលសំខាន់បំផុតដែលត្រូវយកចិត្តទុកដាក់ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការដំឡើងសម្ភារៈគោលដៅគឺត្រូវធានាឱ្យមានទំនាក់ទំនងកម្ដៅដ៏ល្អរវាងសម្ភារៈគោលដៅ និងជញ្ជាំងត្រជាក់នៃកាំភ្លើងបាញ់។ប្រសិនបើជញ្ជាំងត្រជាក់ ឬបន្ទះខាងក្រោយត្រូវបានវាយលុកយ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរ វាអាចបណ្តាលឱ្យមានការប្រេះ ឬពត់កំឡុងពេលដំឡើងសម្ភារៈគោលដៅ។ការផ្ទេរកំដៅពីគោលដៅខាងក្រោយទៅសម្ភារៈគោលដៅនឹងរងផលប៉ះពាល់យ៉ាងខ្លាំង ដែលបណ្តាលឱ្យអសមត្ថភាពក្នុងការរលាយកំដៅក្នុងអំឡុងពេលនៃការបាញ់ទឹក ដែលនៅទីបំផុតនាំទៅដល់ការបំបែក ឬគម្លាតនៃសម្ភារៈគោលដៅ។
4. សៀគ្វីខ្លីនិងការត្រួតពិនិត្យការផ្សាភ្ជាប់
បន្ទាប់ពីការដំឡើងសម្ភារៈគោលដៅវាចាំបាច់ត្រូវពិនិត្យមើលសៀគ្វីខ្លីនិងការផ្សាភ្ជាប់នៃ cathode ទាំងមូល។វាត្រូវបានផ្ដល់អនុសាសន៍ឱ្យប្រើ ohmmeter និង megohmmeter ដើម្បីកំណត់ថាតើ cathode ត្រូវបានសៀគ្វីខ្លី។បន្ទាប់ពីបញ្ជាក់ថា cathode មិនសៀគ្វីខ្លី ការរកឃើញលេចធ្លាយអាចត្រូវបានអនុវត្តដោយការចាក់ទឹកចូលទៅក្នុង cathode ដើម្បីកំណត់ថាតើមានការលេចធ្លាយឬអត់។
5. សម្ភារៈគោលដៅមុនពេល sputtering
វាត្រូវបានផ្ដល់អនុសាសន៍ឱ្យប្រើឧស្ម័ន argon សុទ្ធសម្រាប់ការផ្ទុះមុននៃសម្ភារៈគោលដៅ ដែលអាចសម្អាតផ្ទៃនៃសម្ភារៈគោលដៅ។វាត្រូវបានផ្ដល់អនុសាសន៍ឱ្យបង្កើនថាមពល sputtering បន្តិចម្តងៗក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការមុន sputtering សម្រាប់សម្ភារៈគោលដៅ។ថាមពលនៃសម្ភារៈគោលដៅសេរ៉ាមិច
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៩-តុលា ឆ្នាំ ២០២៣