សម្ភារៈគោលដៅដែលប្រើក្នុងឧស្សាហកម្មផ្ទុកទិន្នន័យទាមទារភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ហើយភាពមិនបរិសុទ្ធ និងរន្ធញើសត្រូវតែត្រូវបានបង្រួមអប្បបរមា ដើម្បីជៀសវាងការបង្កើតភាគល្អិតមិនបរិសុទ្ធអំឡុងពេល sputtering ។សម្ភារៈគោលដៅដែលប្រើសម្រាប់ផលិតផលដែលមានគុណភាពខ្ពស់តម្រូវឱ្យទំហំភាគល្អិតគ្រីស្តាល់របស់វាត្រូវតែតូច និងឯកសណ្ឋាន និងមិនមានទិសគ្រីស្តាល់ទេ។ខាងក្រោមនេះ ចូរយើងពិចារណាអំពីតម្រូវការនៃឧស្សាហកម្មផ្ទុកអុបទិកសម្រាប់សម្ភារៈគោលដៅ?
1. ភាពបរិសុទ្ធ
នៅក្នុងការអនុវត្តជាក់ស្តែង ភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈគោលដៅប្រែប្រួលទៅតាមឧស្សាហកម្ម និងតម្រូវការផ្សេងៗគ្នា។ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ សរុបមក ភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈគោលដៅកាន់តែខ្ពស់ ការសម្តែងរបស់ខ្សែភាពយន្តដែលបែកខ្ញែកកាន់តែល្អ។ឧទាហរណ៍ នៅក្នុងឧស្សាហកម្មផ្ទុកអុបទិក ភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈគោលដៅគឺតម្រូវឱ្យធំជាង 3N5 ឬ 4N
2. មាតិកាមិនបរិសុទ្ធ
វត្ថុធាតុគោលដៅបម្រើជាប្រភព cathode ក្នុងការប្រោះទឹក ហើយភាពមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងអង្គធាតុរឹង និងអុកស៊ីសែន និងចំហាយទឹកនៅក្នុងរន្ធញើស គឺជាប្រភពបំពុលដ៏សំខាន់សម្រាប់ការដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើង។លើសពីនេះទៀតមានតម្រូវការពិសេសសម្រាប់គោលដៅនៃការប្រើប្រាស់ផ្សេងៗគ្នា។យកឧស្សាហកម្មផ្ទុកអុបទិកជាឧទាហរណ៍ មាតិកាមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងគោលដៅនៃការបាញ់ទឹកត្រូវតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងទាបបំផុតដើម្បីធានាបាននូវគុណភាពនៃថ្នាំកូត។
3. ការចែកចាយទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិ
ជាធម្មតា សម្ភារៈគោលដៅមានរចនាសម្ព័ន្ធ polycrystalline ដែលមានទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិចាប់ពីមីក្រូម៉ែត្រទៅមីលីម៉ែត្រ។សម្រាប់គោលដៅដែលមានសមាសភាពដូចគ្នា អត្រានៃគ្រាប់ធញ្ញជាតិល្អគឺលឿនជាងគោលដៅគ្រាប់ធញ្ញជាតិ។សម្រាប់គោលដៅដែលមានភាពខុសគ្នានៃទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិតូចជាង កម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់ក៏នឹងមានលក្ខណៈដូចគ្នាដែរ។
4. បង្រួម
ដើម្បីកាត់បន្ថយភាពផុយស្រួយនៅក្នុងសម្ភារៈគោលដៅរឹង និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការនៃខ្សែភាពយន្ត ជាទូទៅវាត្រូវបានទាមទារថាសម្ភារៈគោលដៅ sputtering មានដង់ស៊ីតេខ្ពស់។ដង់ស៊ីតេនៃសម្ភារៈគោលដៅភាគច្រើនអាស្រ័យទៅលើដំណើរការរៀបចំ។សម្ភារៈគោលដៅដែលផលិតដោយវិធីសាស្ត្ររលាយ និងចាក់អាចធានាថាមិនមានរន្ធញើសនៅខាងក្នុងសម្ភារៈគោលដៅ ហើយដង់ស៊ីតេគឺខ្ពស់ណាស់។
ពេលវេលាប្រកាស៖ ថ្ងៃទី ១៨ ខែកក្កដា ឆ្នាំ ២០២៣