Sputtered molybdenum targets ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មគ្រឿងអេឡិចត្រូនិក កោសិកាថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យ ថ្នាំកូតកញ្ចក់ និងផ្នែកផ្សេងទៀតដោយសារតែគុណសម្បត្តិដែលមានស្រាប់របស់វា។ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍យ៉ាងឆាប់រហ័សនៃបច្ចេកវិជ្ជាទំនើបក្នុងការបង្រួបបង្រួម ការធ្វើសមាហរណកម្ម ឌីជីថល និងភាពវៃឆ្លាត ការប្រើប្រាស់គោលដៅ molybdenum នឹងបន្តកើនឡើង ហើយតម្រូវការគុណភាពសម្រាប់ពួកវាក៏នឹងកើនឡើងខ្ពស់ផងដែរ។ដូច្នេះយើងត្រូវរកវិធីដើម្បីធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវអត្រាប្រើប្រាស់នៃគោលដៅម៉ូលីបដិនឥឡូវនេះ កម្មវិធីនិពន្ធនៃ RSM នឹងណែនាំវិធីសាស្រ្តជាច្រើនដើម្បីកែលម្អអត្រាប្រើប្រាស់នៃគោលដៅ molybdenum sputtering សម្រាប់អ្នករាល់គ្នា
1. បន្ថែមឧបករណ៏អេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចនៅផ្នែកខាងបញ្ច្រាស
ដើម្បីកែលម្អអត្រាប្រើប្រាស់នៃគោលដៅម៉ូលីបដិនមិចដែលបែកខ្ចាត់ខ្ចាយ ឧបករណ៏អេឡិចត្រូម៉ាញេទិកអាចត្រូវបានបន្ថែមនៅផ្នែកបញ្ច្រាសនៃគោលដៅម៉ូលីបឌិនម៉ាញេទិក ហើយវាលម៉ាញេទិកលើផ្ទៃនៃគោលដៅម៉ូលីបដិនអាចត្រូវបានបង្កើនដោយការបង្កើនចរន្តនៃ ឧបករណ៏អេឡិចត្រូម៉ាញេទិក ដើម្បីធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវអត្រាប្រើប្រាស់នៃគោលដៅ molybdenum ។
2. ជ្រើសរើសសម្ភារៈគោលដៅបង្វិលបំពង់
បើប្រៀបធៀបជាមួយគោលដៅសំប៉ែត ការជ្រើសរើសរចនាសម្ព័ន្ធគោលដៅបង្វិលបំពង់បង្ហាញពីគុណសម្បត្តិសំខាន់ៗរបស់វា។ជាទូទៅ អត្រាប្រើប្រាស់នៃគោលដៅផ្ទះល្វែងមានត្រឹមតែ 30% ទៅ 50% ប៉ុណ្ណោះ ខណៈដែលអត្រាប្រើប្រាស់នៃគោលដៅបង្វិលបំពង់អាចឈានដល់ជាង 80% ។លើសពីនេះទៅទៀត នៅពេលប្រើបំពង់ប្រហោងបង្វិល Magnetron sputtering target ចាប់តាំងពីគោលដៅអាចបង្វិលជុំវិញការផ្គុំមេដែករបារថេរគ្រប់ពេល វានឹងមិនមានការផ្លាស់ប្តូរឡើងវិញលើផ្ទៃរបស់វាទេ ដូច្នេះអាយុកាលរបស់គោលដៅបង្វិលជាទូទៅគឺច្រើនជាង 5 ដង។ លើសពីគោលដៅរបស់យន្តហោះ។
3. ជំនួសដោយឧបករណ៍ផ្លុំទឹកថ្មី។
គន្លឹះក្នុងការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវអត្រានៃការប្រើប្រាស់សម្ភារៈគោលដៅគឺការបញ្ចប់ការជំនួសឧបករណ៍ sputtering ។កំឡុងពេលដំណើរការ sputtering នៃវត្ថុធាតុគោលដៅ molybdenum sputtering ប្រហែលមួយភាគប្រាំមួយនៃអាតូម sputtering នឹងដាក់នៅលើជញ្ជាំងបន្ទប់ខ្វះចន្លោះ ឬតង្កៀបបន្ទាប់ពីរងការវាយប្រហារដោយអ៊ីយ៉ុងអ៊ីដ្រូសែន បង្កើនការចំណាយលើការសម្អាតឧបករណ៍បូមធូលី និងពេលវេលារងចាំ។ដូច្នេះការជំនួសឧបករណ៍ sputtering ថ្មីក៏អាចជួយធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវអត្រានៃការប្រើប្រាស់នៃ sputtering molybdenum គោលដៅ។
ពេលវេលាប្រកាស៖ ថ្ងៃទី ២៤ ឧសភា ២០២៣