គោលបំណងនៃការសម្អាតគោលដៅគឺដើម្បីយកធូលី ឬភាពកខ្វក់ដែលអាចកើតមាននៅលើផ្ទៃគោលដៅ។ឥឡូវនេះ អ្នកនិពន្ធនៃ Rich Special Material Co., LTD.(RSM) នឹងចែករំលែកជាមួយអ្នកអំពីជំហានទាំងបួនដើម្បីសម្អាតគោលដៅលោហៈ៖
ជំហានដំបូងគឺត្រូវសម្អាតដោយក្រណាត់ទន់គ្មានជាតិសរសៃដែលត្រាំក្នុងអាសេតូន។
ជំហានទីពីរគឺស្រដៀងទៅនឹងជំហានដំបូង ការលាងសម្អាតជាមួយនឹងជាតិអាល់កុល;
ជំហានទី 3: លាងសម្អាតដោយទឹក deionized ។បន្ទាប់ពីត្រូវបានទឹកនាំទៅ deionized គោលដៅត្រូវបានដាក់នៅក្នុង oven និងស្ងួតនៅ 100 ℃សម្រាប់ 30 នាទី។គោលដៅអុកស៊ីត និងសេរ៉ាមិចគួរតែត្រូវបានសម្អាតដោយ "ក្រណាត់គ្មានជាតិសរសៃ"។
ជំហានទីបួនគឺត្រូវលាងសម្អាតគោលដៅជាមួយ argon ជាមួយនឹងសម្ពាធខ្ពស់ និងឧស្ម័នទឹកទាប ដើម្បីដកភាគល្អិតមិនបរិសុទ្ធទាំងអស់ដែលអាចបង្កើតជាធ្នូនៅក្នុងប្រព័ន្ធ sputtering ។
ចំណាំ៖ នៅពេលដោះស្រាយគោលដៅ សូមពាក់ស្រោមដៃថែទាំដែលស្អាត និងគ្មានពន្លឺដើម្បីការពារការប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ជាមួយគោលដៅដោយដៃ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ២៤-មិថុនា-២០២២