គោលដៅមានផលប៉ះពាល់ជាច្រើន ហើយកន្លែងអភិវឌ្ឍន៍ទីផ្សារមានទំហំធំ។វាមានប្រយោជន៍ណាស់ក្នុងវិស័យជាច្រើន។ស្ទើរតែគ្រប់ឧបករណ៍ sputtering ថ្មីទាំងអស់ប្រើមេដែកដ៏មានអានុភាពដើម្បីតំរៀបអេឡិចត្រុងដើម្បីបង្កើនល្បឿនអ៊ីយ៉ូដនៃ argon ជុំវិញគោលដៅ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការកើនឡើងនៃប្រូបាប៊ីលីតេនៃការប៉ះទង្គិចគ្នារវាងគោលដៅ និងអ៊ីយ៉ុង argon ។ឥលូវនេះសូមក្រឡេកមើលតួនាទីនៃចំណុចប្រទាក់ក្រឡានៅក្នុងថ្នាំកូតបូមធូលី។
ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវអត្រាប្រឡាក់។ជាទូទៅ DC sputtering ត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការស្រោបលោហធាតុ ខណៈពេលដែល RF AC sputtering ត្រូវបានប្រើសម្រាប់សមា្ភារៈម៉ាញេទិចសេរ៉ាមិចដែលមិនមានចរន្ត។គោលការណ៍ជាមូលដ្ឋានគឺត្រូវប្រើការបញ្ចេញពន្លឺដើម្បីបុកអ៊ីយ៉ុង argon (AR) ទៅលើផ្ទៃនៃគោលដៅក្នុងភាពខ្វះចន្លោះ ហើយ cations នៅក្នុងប្លាស្មានឹងពន្លឿនដើម្បីប្រញាប់ប្រញាល់ទៅផ្ទៃអេឡិចត្រូតអវិជ្ជមានដែលជាសម្ភារៈដែលបែក។ផលប៉ះពាល់នេះនឹងធ្វើឱ្យសម្ភារៈនៃគោលដៅហោះហើរចេញ ហើយដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្ត។
និយាយជាទូទៅ មានលក្ខណៈមួយចំនួននៃថ្នាំកូតហ្វីលដោយដំណើរការប្រឡាក់៖ (1) លោហធាតុ យ៉ាន់ស្ព័រ ឬអ៊ីសូឡង់អាចត្រូវបានបង្កើតជាទិន្នន័យខ្សែភាពយន្ត។
(2) ក្រោមលក្ខខណ្ឌនៃការកំណត់សមស្រប ខ្សែភាពយន្តដែលមានសមាសភាពដូចគ្នាអាចត្រូវបានធ្វើឡើងពីគោលដៅច្រើន និងមិនមានសណ្តាប់ធ្នាប់។
(3) ល្បាយ ឬសមាសធាតុនៃវត្ថុធាតុគោលដៅ និងម៉ូលេគុលឧស្ម័នអាចត្រូវបានផលិតដោយការបន្ថែមអុកស៊ីសែន ឬឧស្ម័នសកម្មផ្សេងទៀតនៅក្នុងបរិយាកាសបញ្ចេញ។
(4) ពេលវេលាបញ្ជូលចរន្ត និងចរន្តបញ្ចូលគោលដៅអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រង ហើយវាងាយស្រួលក្នុងការទទួលបានកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។
(5) បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងដំណើរការផ្សេងទៀត វាអំណោយផលដល់ការផលិតខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋានតំបន់ធំ។
(6) ភាគល្អិតដែលបែកខ្ចាត់ខ្ចាយគឺស្ទើរតែមិនប៉ះពាល់ដោយទំនាញ ហើយទីតាំងនៃគោលដៅ និងស្រទាប់ខាងក្រោមអាចត្រូវបានរៀបចំដោយសេរី។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ឧសភា-១៧-២០២២