Sputtering target គឺជាសម្ភារៈអេឡិចត្រូនិចដែលបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយ ដោយភ្ជាប់សារធាតុដូចជា យ៉ាន់ស្ព័រ ឬអុកស៊ីដដែកទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោមអេឡិចត្រូនិចនៅកម្រិតអាតូមិក។ក្នុងចំនោមពួកគេ គោលដៅ sputtering សម្រាប់ខ្សែភាពយន្ត blackening ត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្តនៅលើសរីរាង្គ EL ឬបន្ទះគ្រីស្តាល់រាវដើម្បីធ្វើឱ្យខ្សែភ្លើងខ្មៅនិងកាត់បន្ថយការឆ្លុះបញ្ចាំងពន្លឺដែលអាចមើលឃើញ (ការឆ្លុះបញ្ចាំងទាប) នៃខ្សែ TFT ។គោលដៅ sputter មានគុណសម្បត្តិ និងផលប៉ះពាល់ដូចខាងក្រោម។បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងផលិតផលមុន វាជួយកែលម្អកម្រិតខ្ពស់នៃភាពល្អិតល្អន់ និងសេរីភាពនៃការរចនានៃការបង្ហាញផ្សេងៗ និងកាត់បន្ថយសំលេងរំខានដែលបណ្តាលមកពីខ្សែភ្លើងដែលឆ្លុះបញ្ចាំងពីពន្លឺនៃផលិតផលដែលទាក់ទងនឹង semiconductor ។
អត្ថប្រយោជន៍ និងផលប៉ះពាល់នៃគោលដៅអាលុយមីញ៉ូម៖
(1) បន្ទាប់ពីគោលដៅអាលុយមីញ៉ូមត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើខ្សែភ្លើង ពន្លឺដែលអាចមើលឃើញអាចត្រូវបានកាត់បន្ថយ
បើប្រៀបធៀបជាមួយផលិតផលមុន វាអាចសម្រេចបាននូវការឆ្លុះបញ្ចាំងទាប។
(2) DC sputtering អាចត្រូវបានអនុវត្តដោយគ្មានឧស្ម័នប្រតិកម្ម
បើប្រៀបធៀបជាមួយផលិតផលមុនៗ វាមានប្រយោជន៍ក្នុងការដឹងពីភាពដូចគ្នានៃខ្សែភាពយន្តនៃស្រទាប់ខាងក្រោមធំ។
(3) បន្ទាប់ពីខ្សែភាពយន្តត្រូវបានបង្កើតឡើងដំណើរការនៃការ etching អាចត្រូវបានអនុវត្តរួមគ្នាជាមួយនឹងខ្សែភ្លើង
កែសម្រួលសម្ភារៈដោយយោងទៅតាមដំណើរការ etching ដែលមានស្រាប់របស់អតិថិជន ហើយអាច etch រួមគ្នាជាមួយនឹងខ្សែភ្លើងដោយមិនផ្លាស់ប្តូរដំណើរការដែលមានស្រាប់។លើសពីនេះ ក្រុមហ៊ុនក៏នឹងផ្តល់ការគាំទ្រផងដែរ ទៅតាមលក្ខខណ្ឌនៃការបញ្ចេញទឹកមុខរបស់អតិថិជន។
(4) ធន់នឹងកំដៅល្អ ធន់នឹងទឹក និងអាល់កាឡាំង
បន្ថែមពីលើភាពធន់នឹងទឹក និងធន់នឹងអាល់កាឡាំង វាក៏មានភាពធន់ទ្រាំកំដៅខ្ពស់ផងដែរ ដូច្នេះលក្ខណៈនៃខ្សែភាពយន្តនេះនឹងមិនផ្លាស់ប្តូរនៅក្នុងដំណើរការដំណើរការខ្សែភ្លើង TFT នោះទេ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ សីហា-១០-២០២២