ដូចដែលយើងទាំងអស់គ្នាដឹងហើយថា វិធីសាស្រ្តដែលប្រើជាទូទៅក្នុងការលាបថ្នាំ Vacuum Coating គឺ Vacuum Transpiration និង ion sputtering ។តើអ្វីទៅជាភាពខុសគ្នារវាងការស្រោបដោយការចម្លងមេរោគនិងការស្រោបដោយសារធាតុប្រឡាក់ច្រើន។មនុស្ស មានសំណួរបែបនេះ។ចូរចែករំលែកជាមួយអ្នកនូវភាពខុសគ្នារវាងថ្នាំកូត transpiration និងថ្នាំកូត sputtering
ខ្សែភាពយន្ត Vacuum transpiration គឺដើម្បីកំដៅទិន្នន័យដើម្បី transpiration ទៅសីតុណ្ហភាពថេរដោយមធ្យោបាយនៃកំដៅធន់ទ្រាំឬធ្នឹមអេឡិចត្រុងនិងសែលឡាស៊ែរនៅក្នុងបរិស្ថានដែលមានកម្រិតខ្វះចន្លោះមិនតិចជាង 10-2Pa ដូច្នេះថាមពលរំញ័រកម្ដៅនៃម៉ូលេគុលឬ អាតូមនៅក្នុងទិន្នន័យមានលើសពីថាមពលភ្ជាប់នៃផ្ទៃ ដូច្នេះហើយ ម៉ូលេគុល ឬអាតូមជាច្រើនបានសាយភាយ ឬកើនឡើង ហើយដាក់ពួកវាដោយផ្ទាល់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្ត។ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង sputtering ប្រើចលនា remonstrance ខ្ពស់នៃអ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមានដែលបង្កើតឡើងដោយការបញ្ចេញឧស្ម័នក្រោមឥទ្ធិពលនៃវាលអគ្គិសនីដើម្បីទម្លាក់គោលដៅដែលជា cathode ដូច្នេះអាតូមឬម៉ូលេគុលនៅក្នុងគោលដៅរត់គេចខ្លួននិងដាក់នៅលើផ្ទៃនៃ workpiece plated ដើម្បីបង្កើត។ ខ្សែភាពយន្តដែលត្រូវការ។
វិធីសាស្រ្តដែលប្រើជាទូទៅបំផុតនៃការស្រោបដោយខ្វះចន្លោះគឺវិធីសាស្ត្រកំដៅធន់ទ្រាំ។គុណសម្បត្តិរបស់វាគឺរចនាសម្ព័ន្ធសាមញ្ញនៃប្រភពកំដៅការចំណាយទាបនិងប្រតិបត្តិការងាយស្រួល។គុណវិបត្តិរបស់វាគឺថាវាមិនសមរម្យសម្រាប់លោហៈ refractory និងប្រព័ន្ធផ្សព្វផ្សាយដែលធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។កំដៅធ្នឹមអេឡិចត្រុងនិងកំដៅឡាស៊ែរអាចយកឈ្នះគុណវិបត្តិនៃកំដៅធន់ទ្រាំ។នៅក្នុងកំដៅធ្នឹមអេឡិចត្រុង ធ្នឹមអេឡិចត្រុងផ្តោតត្រូវបានប្រើដើម្បីកំដៅទិន្នន័យសែលដោយផ្ទាល់ ហើយថាមពល kinetic នៃធ្នឹមអេឡិចត្រុងក្លាយជាថាមពលកំដៅដើម្បីធ្វើឱ្យទិន្នន័យឆ្លងកាត់។កំដៅឡាស៊ែរប្រើឡាស៊ែរថាមពលខ្ពស់ជាប្រភពកំដៅ ប៉ុន្តែដោយសារតម្លៃឡាស៊ែរដែលមានថាមពលខ្ពស់ វាអាចប្រើប្រាស់បានតែនៅក្នុងមន្ទីរពិសោធន៍ស្រាវជ្រាវមួយចំនួនតូចប៉ុណ្ណោះ។
ជំនាញ Sputtering គឺខុសពីជំនាញស្រូបខ្យល់។Sputtering សំដៅលើបាតុភូតដែលភាគល្អិតចោទប្រកាន់ទម្លាក់ទៅលើផ្ទៃ (គោលដៅ) នៃរាងកាយ ដូច្នេះអាតូមរឹង ឬម៉ូលេគុលត្រូវបានបញ្ចេញចេញពីផ្ទៃ។ភាគល្អិតដែលបញ្ចេញភាគច្រើនគឺជាអាតូម ដែលជារឿយៗត្រូវបានគេហៅថា អាតូមដែលបញ្ចេញ។ភាគល្អិតដែលប្រើសម្រាប់បាញ់ផ្លោងអាចជាអេឡិចត្រុង អ៊ីយ៉ុង ឬភាគល្អិតអព្យាក្រឹត។ដោយសារតែអ៊ីយ៉ុងមានភាពងាយស្រួលក្នុងការទទួលបានថាមពល kinetic ដែលត្រូវការនៅក្រោមវាលអគ្គិសនី អ៊ីយ៉ុងភាគច្រើនត្រូវបានជ្រើសរើសជាភាគល្អិតសែល។
ដំណើរការនៃការបញ្ចេញទឹករំអិលគឺផ្អែកលើការបញ្ចេញពន្លឺ ពោលគឺអ៊ីយ៉ុង sputtering បានមកពីការបញ្ចេញឧស្ម័ន។ជំនាញផ្លុំផ្លុំផ្សេងៗមានវិធីបញ្ចេញពន្លឺខុសៗគ្នា។DC diode sputtering ប្រើ DC glow discharge;Triode sputtering គឺជាការបញ្ចេញពន្លឺដែលគាំទ្រដោយ cathode ក្តៅ;RF sputtering ប្រើការបញ្ចេញពន្លឺ RF;Magnetron sputtering គឺជាការបញ្ចេញពន្លឺដែលគ្រប់គ្រងដោយវាលម៉ាញេទិក annular ។
បើប្រៀបធៀបជាមួយថ្នាំកូតដែលមានជាតិសំណើម ថ្នាំកូត sputtering មានគុណសម្បត្តិជាច្រើន។ប្រសិនបើសារធាតុណាមួយអាចត្រូវបាន sputtered ជាពិសេសធាតុនិងសមាសធាតុដែលមានចំណុចរលាយខ្ពស់និងសម្ពាធចំហាយទាប;adhesion រវាងខ្សែភាពយន្ត sputtered និងស្រទាប់ខាងក្រោមគឺល្អ;ដង់ស៊ីតេខ្ពស់នៃខ្សែភាពយន្ត;កម្រាស់របស់ខ្សែភាពយន្តអាចគ្រប់គ្រងបាន ហើយភាពអាចដំណើរការឡើងវិញបានគឺល្អ។គុណវិបត្តិគឺថាឧបករណ៍មានភាពស្មុគស្មាញហើយត្រូវការឧបករណ៍ដែលមានវ៉ុលខ្ពស់។
លើសពីនេះទៀតការរួមបញ្ចូលគ្នានៃវិធីសាស្រ្ត transpiration និងវិធី sputtering គឺ ion plating ។គុណសម្បត្តិនៃវិធីសាស្រ្តនេះគឺការ adhesion ដ៏រឹងមាំរវាងខ្សែភាពយន្តនិងស្រទាប់ខាងក្រោម, អត្រាការប្រាក់ខ្ពស់និងដង់ស៊ីតេខ្ពស់នៃខ្សែភាពយន្ត។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ឧសភា-០៩-២០២២