នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ ស្ទើរតែទាំងអស់នូវគោលដៅទង់ដែងដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុតដែលតម្រូវដោយឧស្សាហកម្ម IC ត្រូវបានផ្តាច់មុខដោយក្រុមហ៊ុនពហុជាតិបរទេសធំៗមួយចំនួន។រាល់គោលដៅទង់ដែង ultrapure ទាំងអស់ដែលត្រូវការដោយឧស្សាហកម្ម IC ក្នុងស្រុកត្រូវតែនាំចូល ដែលមិនត្រឹមតែមានតម្លៃថ្លៃប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែក៏មានភាពស្មុគស្មាញក្នុងនីតិវិធីនាំចូលផងដែរ ដូច្នេះហើយ ប្រទេសចិនត្រូវការជាបន្ទាន់ដើម្បីកែលម្អការអភិវឌ្ឍន៍ និងការផ្ទៀងផ្ទាត់គោលដៅស្ពាន់ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្លាំងជ្រុល (6N) ។ .សូមក្រឡេកមើលចំណុចសំខាន់ៗ និងការលំបាកក្នុងការអភិវឌ្ឍន៍គោលដៅស្ពាន់ដែលមានភាពបរិសុទ្ធជ្រុល (6N) ។
1,ការអភិវឌ្ឍនៃវត្ថុធាតុដើមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។
បច្ចេកវិជ្ជាបន្សុតនៃលោហធាតុ Cu, Al និង Ta ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់នៅក្នុងប្រទេសចិនគឺនៅឆ្ងាយពីប្រទេសអភិវឌ្ឍន៍ឧស្សាហកម្ម។នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ ភាគច្រើននៃលោហធាតុដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ដែលអាចផ្តល់ជូនមិនអាចបំពេញតាមតម្រូវការគុណភាពនៃសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាសម្រាប់គោលដៅ sputtering នេះបើយោងតាមវិធីសាស្រ្តធម្មតានៃការវិភាគធាតុទាំងអស់នៅក្នុងឧស្សាហកម្មនេះ។ចំនួននៃការរួមបញ្ចូលនៅក្នុងគោលដៅគឺខ្ពស់ពេក ឬចែកចាយមិនស្មើគ្នា។ភាគល្អិតត្រូវបានបង្កើតឡើងជាញឹកញាប់នៅលើ wafer កំឡុងពេល sputtering ដែលបណ្តាលឱ្យមានសៀគ្វីខ្លីឬសៀគ្វីបើកចំហនៃទំនាក់ទំនងគ្នាទៅវិញទៅមកដែលប៉ះពាល់យ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរដល់ដំណើរការនៃខ្សែភាពយន្ត។
2,ការអភិវឌ្ឍន៍បច្ចេកវិទ្យារៀបចំគោលដៅស្ពាន់
ការអភិវឌ្ឍន៍បច្ចេកវិទ្យារៀបចំគោលដៅស្ពាន់ផ្តោតសំខាន់លើទិដ្ឋភាពបីគឺទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិ ការគ្រប់គ្រងទិស និងឯកសណ្ឋាន។ឧស្សាហកម្ម semiconductor មានតម្រូវការខ្ពស់បំផុតសម្រាប់គោលដៅ sputtering និងហួតវត្ថុធាតុដើម។វាមានតម្រូវការតឹងរ៉ឹងបំផុតសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិលើផ្ទៃ និងការតំរង់ទិសគ្រីស្តាល់នៃគោលដៅ។ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិនៃគោលដៅត្រូវតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងនៅ 100μ M ខាងក្រោម ដូច្នេះហើយ ការគ្រប់គ្រងទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិ និងមធ្យោបាយនៃការវិភាគ និងការរកឃើញទំនាក់ទំនងគឺមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់សម្រាប់ការអភិវឌ្ឍគោលដៅលោហៈ។
3,ការអភិវឌ្ឍការវិភាគនិងការធ្វើតេស្ត បច្ចេកវិទ្យា
ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់នៃគោលដៅមានន័យថាកាត់បន្ថយភាពមិនបរិសុទ្ធ។កាលពីមុន ប្លាស្មារួមបញ្ចូលគ្នាដោយ inductively (ICP) និងវិសាលគមស្រូបយកអាតូមត្រូវបានប្រើដើម្បីកំណត់ភាពមិនបរិសុទ្ធ ប៉ុន្តែក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ ការវិភាគគុណភាពបញ្ចេញពន្លឺ (GDMS) ជាមួយនឹងភាពប្រែប្រួលខ្ពស់ត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាស្តង់ដារបន្តិចម្តងៗ។ វិធីសាស្រ្ត.សមាមាត្រធន់ទ្រាំនឹងសំណល់ វិធីសាស្ត្រ RRR ត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ការកំណត់ភាពបរិសុទ្ធអគ្គិសនី។គោលការណ៍កំណត់របស់វាគឺដើម្បីវាយតម្លៃភាពបរិសុទ្ធនៃលោហៈមូលដ្ឋានដោយវាស់កម្រិតនៃការបែកខ្ចាត់ខ្ចាយអេឡិចត្រូនិចនៃភាពមិនបរិសុទ្ធ។ដោយសារតែវាគឺដើម្បីវាស់ស្ទង់ភាពធន់នៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ និងសីតុណ្ហភាពទាបបំផុត វាគឺសាមញ្ញក្នុងការយកលេខ។ក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ ដើម្បីស្វែងយល់ពីខ្លឹមសារនៃលោហធាតុ ការស្រាវជ្រាវលើភាពបរិសុទ្ធខ្លាំងបំផុតគឺសកម្មណាស់។ក្នុងករណីនេះតម្លៃ RRR គឺជាមធ្យោបាយដ៏ល្អបំផុតដើម្បីវាយតម្លៃភាពបរិសុទ្ធ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ឧសភា-០៦-២០២២