ក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ ជាមួយនឹងវឌ្ឍនភាពនៃបច្ចេកវិទ្យាសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា (IC) កម្មវិធីពាក់ព័ន្ធនៃសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាត្រូវបានបង្កើតឡើងយ៉ាងឆាប់រហ័ស។វត្ថុធាតុលោហធាតុអាលុយមីញ៉ូដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ជ្រុល ដែលជាសម្ភារៈគាំទ្រក្នុងការផលិតដែកសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាបានក្លាយជាប្រធានបទក្តៅនៅក្នុងការស្រាវជ្រាវក្នុងស្រុកនាពេលថ្មីៗនេះ។កម្មវិធីនិពន្ធនៃ RSM នឹងបង្ហាញយើងពីលក្ខណៈនៃគោលដៅនៃការស្រោបលោហៈធាតុអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។
ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពបន្ថែមនៃ sputtering នៃ magnetron sputtering target និងធានាបាននូវគុណភាពនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់ទុក ការពិសោធន៍មួយចំនួនធំបង្ហាញថាមានតម្រូវការជាក់លាក់សម្រាប់សមាសភាព រចនាសម្ព័ន្ធមីក្រូ និងការតំរង់ទិសគ្រាប់ធញ្ញជាតិនៃគោលដៅ sputtering alloy អាលុយមីញ៉ូដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ជ្រុល។
ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិ និងការតំរង់ទិសគ្រាប់ធញ្ញជាតិនៃគោលដៅមានឥទ្ធិពលយ៉ាងខ្លាំងលើការរៀបចំ និងលក្ខណៈសម្បត្តិនៃខ្សែភាពយន្ត IC ។លទ្ធផលបង្ហាញថាអត្រានៃការដាក់ប្រាក់ថយចុះជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិ។សម្រាប់គោលដៅ sputtering ជាមួយសមាសភាពដូចគ្នា អត្រា sputtering នៃគោលដៅដែលមានទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិតូចគឺលឿនជាងគោលដៅដែលមានទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិធំ;ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិមានឯកសណ្ឋានកាន់តែច្រើន ភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃកម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់។
នៅក្រោមឧបករណ៍ sputtering ដូចគ្នា និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការ អត្រានៃ sputtering នៃ Al Cu alloy គោលដៅកើនឡើងជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃដង់ស៊ីតេអាតូម ប៉ុន្តែជាទូទៅវាមានស្ថេរភាពក្នុងជួរមួយ។ឥទ្ធិពលនៃទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិនៅលើអត្រា sputtering គឺដោយសារតែការផ្លាស់ប្តូរនៃដង់ស៊ីតេអាតូមជាមួយនឹងការផ្លាស់ប្តូរនៃទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិ;អត្រានៃការដាក់ប្រាក់ត្រូវបានប៉ះពាល់ជាចម្បងដោយការតំរង់ទិសគ្រាប់ធញ្ញជាតិនៃគោលដៅលោហៈធាតុ Al Cu ។នៅលើមូលដ្ឋាននៃការធានាសមាមាត្រនៃ (200) យន្តហោះគ្រីស្តាល់ ការកើនឡើងនៃសមាមាត្រនៃ (111), (220) និង (311) យន្តហោះគ្រីស្តាល់នឹងបង្កើនអត្រានៃការដាក់។
ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិ និងការតំរង់ទិសគ្រាប់ធញ្ញជាតិនៃគោលដៅអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្លាំងបំផុតគឺត្រូវបានកែសម្រួល និងគ្រប់គ្រងជាចម្បងដោយការបញ្ចូលភាពដូចគ្នា ការធ្វើការក្តៅ និងការបញ្ចូលឡើងវិញនូវគ្រីស្តាល់។ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍនៃទំហំ wafer ដល់ 20.32cm (8in) និង 30.48cm (12in) ទំហំគោលដៅក៏កំពុងកើនឡើងផងដែរ ដែលដាក់ចេញនូវតម្រូវការខ្ពស់ជាងមុនសម្រាប់គោលដៅ sputtering alloy អាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត។ដើម្បីធានាបាននូវគុណភាព និងទិន្នផលខ្សែភាពយន្ត ប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការគោលដៅត្រូវតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងដើម្បីធ្វើឱ្យរចនាសម្ព័ន្ធមីក្រូគោលដៅមានឯកសណ្ឋាន ហើយការតំរង់ទិសគ្រាប់ធញ្ញជាតិត្រូវតែមានវាយនភាពយន្តហោះខ្លាំង (200) និង (220) ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ មិថុនា-៣០-២០២២