ដូចដែលយើងទាំងអស់គ្នាដឹងហើយថាភាពបរិសុទ្ធគឺជាសូចនាករនៃការអនុវត្តសំខាន់មួយនៃគោលដៅ។នៅក្នុងការប្រើប្រាស់ជាក់ស្តែងតម្រូវការភាពបរិសុទ្ធនៃគោលដៅក៏ខុសគ្នាដែរ។បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងទីតានីញ៉ូមសុទ្ធក្នុងឧស្សាហកម្មទូទៅ ទីតានីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់មានតម្លៃថ្លៃ និងមានកម្មវិធីតូចចង្អៀត។វាត្រូវបានប្រើជាចម្បងដើម្បីបំពេញការប្រើប្រាស់ឧស្សាហកម្មពិសេសមួយចំនួន។ដូច្នេះតើអ្វីជាកម្មវិធីសំខាន់នៃគោលដៅទីតានីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់?ឥឡូវនេះសូមអនុវត្តតាម អ្នកឯកទេសនៃRSM.
ការប្រើប្រាស់គោលដៅទីតានីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់រួមមានចំណុចសំខាន់ៗដូចខាងក្រោមៈ
1. ជីវសម្ភារៈ
ទីតានីញ៉ូម គឺជាលោហធាតុដែលមិនមែនជាម៉ាញេទិក ដែលនឹងមិនត្រូវបានម៉ាញ៉េទិចក្នុងដែនម៉ាញេទិចខ្លាំង និងមានភាពស៊ីគ្នាល្អជាមួយរាងកាយមនុស្ស ផលប៉ះពាល់មិនមានជាតិពុល និងអាចប្រើសម្រាប់ផលិតឧបករណ៍ផ្សាំរបស់មនុស្សបាន។ជាទូទៅ សម្ភារៈទីតានីញ៉ូមវេជ្ជសាស្រ្តមិនឈានដល់កម្រិតនៃទីតានីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់នោះទេ ប៉ុន្តែដោយពិចារណាលើការរំលាយសារធាតុមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងទីតានីញ៉ូម ភាពបរិសុទ្ធនៃទីតានីញ៉ូមសម្រាប់ការផ្សាំគួរតែមានកម្រិតខ្ពស់តាមដែលអាចធ្វើទៅបាន។វាត្រូវបានរៀបរាប់នៅក្នុងអក្សរសិល្ប៍ថាលួសទីតានីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់អាចត្រូវបានប្រើជាសម្ភារៈចងជីវសាស្រ្ត។លើសពីនេះ ម្ជុលចាក់ថ្នាំទីតានីញ៉ូមជាមួយនឹងបំពង់បូមដែលបានបង្កប់ក៏បានឈានដល់កម្រិតនៃសារធាតុទីតានីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ផងដែរ។
2. សម្ភារៈតុបតែង
ទីតានីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ មានភាពធន់ទ្រាំនឹងការច្រេះក្នុងបរិយាកាសដ៏ល្អ ហើយនឹងមិនផ្លាស់ប្តូរពណ៌បន្ទាប់ពីការប្រើប្រាស់រយៈពេលយូរនៅក្នុងបរិយាកាស ដោយធានានូវពណ៌ដើមរបស់ទីតានីញ៉ូម។ដូច្នេះ ទីតានីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ក៏អាចប្រើជាសម្ភារៈតុបតែងអគារផងដែរ។លើសពីនេះ ក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ ការតុបតែងថ្នាក់ខ្ពស់ និងឧបករណ៍ពាក់មួយចំនួនដូចជា ខ្សែដៃ នាឡិកា និងស៊ុមទស្សនីយភាព ត្រូវបានផលិតពីទីតានីញ៉ូម ដែលទាញយកអត្ថប្រយោជន៍ពីភាពធន់នឹងការច្រេះ មិនប្រែពណ៌ ភាពរលោងល្អយូរអង្វែង និងមិនប៉ះពាល់ដល់ ស្បែកមនុស្ស។ភាពបរិសុទ្ធនៃទីតានីញ៉ូមដែលប្រើក្នុងការតុបតែងខ្លះបានឈានដល់កម្រិត 5N ។
3. សម្ភារៈបំផុសគំនិត
ទីតានីញ៉ូម ជាលោហៈដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិគីមីសកម្មខ្លាំង អាចប្រតិកម្មជាមួយធាតុ និងសមាសធាតុជាច្រើននៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ទីតានីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់មានការស្រូបយកខ្លាំងសម្រាប់ឧស្ម័នសកម្ម (ដូចជា,,,CO,, ចំហាយទឹកលើសពី 650℃) ហើយខ្សែភាពយន្ត Ti ដែលហួតនៅលើជញ្ជាំងបូមអាចបង្កើតជាផ្ទៃដែលមានសមត្ថភាពស្រូបយកខ្ពស់។ទ្រព្យសម្បត្តិនេះធ្វើឱ្យ Ti ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយជាអ្នកទទួលនៅក្នុងប្រព័ន្ធបូមធូលីខ្ពស់ជ្រុល។ប្រសិនបើប្រើក្នុងម៉ាស៊ីនបូមទឹក sublimation ស្នប់អ៊ីយ៉ុង sputtering ជាដើម សម្ពាធការងារចុងក្រោយនៃម៉ាស៊ីនបូមទឹកអ៊ីយ៉ុង sputtering អាចទាបដូច PA ។
4. សម្ភារៈព័ត៌មានអេឡិចត្រូនិក
ក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍យ៉ាងឆាប់រហ័សនៃបច្ចេកវិទ្យា semiconductor បច្ចេកវិទ្យាព័ត៌មាន និងវិស័យបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្សេងទៀត ទីតានីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ត្រូវបានប្រើប្រាស់កាន់តែច្រើនឡើងៗនៅក្នុងគោលដៅ sputtering សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា DRAM និងអេក្រង់រាបស្មើ ហើយភាពបរិសុទ្ធនៃទីតាញ៉ូមត្រូវបានទាមទារ។ កាន់តែច្រើនឡើង។នៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor VLSI សមាសធាតុស៊ីលីកុនទីតានីញ៉ូម សមាសធាតុទីតានីញ៉ូមនីត្រាត សមាសធាតុទីតានីញ៉ូម tungsten ជាដើម ត្រូវបានគេប្រើជារបាំងសាយភាយ និងសម្ភារៈខ្សែសម្រាប់អេឡិចត្រូតត្រួតពិនិត្យ។សមា្ភារៈទាំងនេះត្រូវបានផលិតដោយវិធីសាស្រ្ត sputtering ហើយគោលដៅទីតានីញ៉ូមដែលប្រើដោយវិធី sputtering ទាមទារភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ជាពិសេសមាតិកានៃធាតុលោហៈ alkali និងធាតុវិទ្យុសកម្មគឺទាបណាស់។
បន្ថែមពីលើផ្នែកកម្មវិធីដែលបានរៀបរាប់ខាងលើ ទីតានីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ក៏ត្រូវបានគេប្រើនៅក្នុងយ៉ាន់ស្ព័រពិសេស និងសម្ភារៈមុខងារផងដែរ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ កក្កដា-១១-២០២២