អ្នកប្រឹក្សាបច្ចេកទេសនៃ RSM នឹងចែករំលែកជាមួយអ្នកនូវអត្ថប្រយោជន៍នៃ cylindrical and planar sputtering targets?បើប្រៀបធៀបទៅនឹងគោលដៅ sputtering magnetron ផ្សេងទៀត គោលដៅ sputtering magnetron រាងស៊ីឡាំង និង planar រក្សាបាននូវគុណសម្បត្តិនៃឯកសណ្ឋានថ្នាំកូតល្អនៃគោលដៅ planar ចតុកោណ ហើយអាចបង្កើនការប្រើប្រាស់គោលដៅតាមពីរវិធីខាងក្រោម៖
(1) នៅពេលដែលក្រុមទាំងពីរ (បួន) នៃរណ្តៅ annular នៅលើផ្ទៃនៃគោលដៅឈានដល់ជម្រៅជាក់លាក់មួយ ស្នូលគោលដៅ (ផ្នែកមេដែក) អាចត្រូវបានបង្វិល 45 °ទាក់ទងទៅនឹងបំពង់គោលដៅ ដូច្នេះតំបន់ផ្សេងទៀតនៅលើបំពង់គោលដៅ។ ដែលមិនត្រូវបាន corroded អាចត្រូវបានប្រើ;
(2) នៅពេលដែលស្នូលគោលដៅនៃគោលដៅ sputtering magnetron រាងស៊ីឡាំង និង planar ត្រូវបានរចនាឡើងជាស្នូលគោលដៅបង្វិល (ស្នូលគោលដៅត្រូវបានបង្វិលកំឡុងពេល sputtering) ផ្ទៃនៃគោលដៅអាចត្រូវបានប្រឡាក់ដោយស្រទាប់ដោយស្រទាប់ដោយគ្មានរណ្តៅ។នៅពេលនេះ គោលដៅនឹងត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពបំផុត ហើយអត្រានៃការប្រើប្រាស់គោលដៅអាចឈានដល់ 50% ~ 60% នៅពេលដែលវត្ថុធាតុគោលដៅគឺជាលោហៈដ៏មានតម្លៃ នេះពិតជាមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់។
ដោយប្រើគោលការណ៍នៃមេដែកជាមួយស្បែកជើងបង្គោលនៅក្នុង coaxial cylindrical magnetron sputtering target ដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហានៃវាលម៉ាញេទិកចុង គោលដៅយន្តហោះចតុកោណអាចត្រូវបានផ្លាស់ប្តូរទៅជា cylindrical and planar sputtering target, គោលដៅអាចបង្កើនអត្រាប្រើប្រាស់នៃគោលដៅ។ ខណៈពេលដែលការរក្សាឱ្យបាននូវឯកសណ្ឋានថ្នាំកូតល្អនៃគោលដៅរាងចតុកោណដើម្បីធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវអត្ថប្រយោជន៍សេដ្ឋកិច្ច។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ កក្កដា-០៤-២០២២